晶圓Pin針頂升工位·小型電動缸應(yīng)用提案
裝置概要
半導(dǎo)體的工藝發(fā)展對設(shè)備的要求逐步提升，對每個軸的動作也愈發(fā)嚴格。小型化、高效率、高精度、低振動……眾多需求在機構(gòu)上的設(shè)計應(yīng)用，以下將為您介紹各類提案：
 *圖片僅供示意
|
實現(xiàn)動作
將吸附于平臺上的晶圓片通過Pin針頂起，以便于利用搬運機械手進行取、送晶圓片。 ※晶圓頂起前，會通過“靜電吸附”、“真空吸附”等方式附著在平臺上。 機構(gòu)痛點·難題
• 吸附型平臺采用氣缸頂升PIN針，晶圓可能出現(xiàn)“裂片”。• 需頂升大尺寸晶圓，實現(xiàn)大負載驅(qū)動。 • 實現(xiàn)小型化。 • 提升效率，提高空間利用率。 |
課題：晶圓裂片/晃動、位置偏離
例如：吸附型平臺會出現(xiàn)未完全解除吸附力的情況，導(dǎo)致頂升時晶圓片短時間內(nèi)仍吸附于平臺上。
痛點分析：
采用氣動為動力源的頂升機構(gòu)，氣動頂升動作無加速過程，易導(dǎo)致：
●突然頂起時的瞬間推力過大，有導(dǎo)致晶圓裂片的可能。
●高速升降、起停時不平穩(wěn)，導(dǎo)致晶圓晃動、位置偏離。
解決方案： 改變驅(qū)動方式：氣缸驅(qū)動→電動缸驅(qū)動
小型電動缸動力源采用步進電動機，可輕易實現(xiàn)平穩(wěn)加/減速設(shè)定。
即使有吸附力殘留，因初期有緩慢加速過程，不會對晶圓造成瞬間沖擊。頂升后，平滑的減速、停止過程，實現(xiàn)晶圓平穩(wěn)頂升，同時保證停止精度。
適合穩(wěn)定進給的驅(qū)動軸。
*不改變脈沖輸入設(shè)定，以整步時的移動量、速度自動進行微步驅(qū)動的控制。
注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
例如：吸附型平臺會出現(xiàn)未完全解除吸附力的情況，導(dǎo)致頂升時晶圓片短時間內(nèi)仍吸附于平臺上。
痛點分析：
采用氣動為動力源的頂升機構(gòu)，氣動頂升動作無加速過程，易導(dǎo)致：
●突然頂起時的瞬間推力過大，有導(dǎo)致晶圓裂片的可能。
●高速升降、起停時不平穩(wěn)，導(dǎo)致晶圓晃動、位置偏離。
解決方案： 改變驅(qū)動方式：氣缸驅(qū)動→電動缸驅(qū)動
小型電動缸動力源采用步進電動機，可輕易實現(xiàn)平穩(wěn)加/減速設(shè)定。
即使有吸附力殘留，因初期有緩慢加速過程，不會對晶圓造成瞬間沖擊。頂升后，平滑的減速、停止過程，實現(xiàn)晶圓平穩(wěn)頂升，同時保證停止精度。
適用于微小移動量·高精度定位
| 中空轉(zhuǎn)子和滾珠螺桿螺母一體化的緊小型機體， 可實現(xiàn)裝置的小型化。 無需連接部件，減少因聯(lián)軸器等部件而產(chǎn)生的精度影響， 實現(xiàn)更高精度的定位。 ●驅(qū)動螺桿分為研磨滾珠螺桿和滾軋滾珠螺桿2種 【最小移動量】0.001mm 【反復(fù)定位精度】 研磨滾珠螺桿：±0.003mm 滾軋滾珠螺桿：±0.01mm
|
 |
支持穩(wěn)定、平滑的加/減速設(shè)定
小型電動缸驅(qū)動支持加/減速過程的設(shè)定，同時可利用驅(qū)動器波形監(jiān)控功能監(jiān)控電動機的運行狀態(tài)及輸出信號的狀態(tài)，
助力于裝置的研發(fā)和便捷調(diào)試等用途。
低速且平滑的動作
采用微步驅(qū)動、平滑驅(qū)動功能*，可抑制低速振動，實現(xiàn)平滑移動。適合穩(wěn)定進給的驅(qū)動軸。
*不改變脈沖輸入設(shè)定，以整步時的移動量、速度自動進行微步驅(qū)動的控制。
搭載產(chǎn)品
?點此下載小型電動缸 DR/DRS2系列（搭載AZ系列）產(chǎn)品目錄
|
?小型電動缸DR系列（搭載αSTEP AZ系列） 因此無需原點傳感器、限位傳感器等外部傳感器。
|
|
?小型電動缸DRS2系列（搭載αSTEP AZ系列）
|
注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
