全自動探針臺設(shè)備
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全自動探針臺設(shè)備的高效率檢測應(yīng)用 |
提高精度、高響應(yīng)、提高效率
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全自動探針臺設(shè)備：高精度的升降晶圓臺
設(shè)備：全自動探針臺工位：晶圓臺升降工位 解決方案：5相高分辨率型步進(jìn)電動機(jī) ●高精度 ●高響應(yīng) ●全閉環(huán)控制系統(tǒng) |
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5相高分辨率型步進(jìn)電動機(jī) |
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高精度的高分辨率型產(chǎn)品，產(chǎn)能效益更優(yōu)越
■高分辨率型，停止精度大為提高。◇分辨率提高（相比標(biāo)準(zhǔn)型）
轉(zhuǎn)子的齒數(shù)由標(biāo)準(zhǔn)型的50個增加到2倍的100個，基本步距角為標(biāo)準(zhǔn)型的一半0.36°。
◇結(jié)構(gòu)上更小的步距實(shí)現(xiàn)停止精度更高
與標(biāo)準(zhǔn)型相比，齒輪更密，齒數(shù)更多。分散發(fā)生轉(zhuǎn)矩的偏差，減小靜止角度誤差。可避免晶圓針印、探針破損的可能，優(yōu)化檢測品質(zhì)。
5相·標(biāo)準(zhǔn)型：±3分（±0.05°）
5相·高分辨率型：±2分（±0.034°）
◇ 角度-轉(zhuǎn)矩特性比較（參考）
相比標(biāo)準(zhǔn)型，在電動機(jī)施加相同的摩擦負(fù)載，高分辨率型的變位角 θd 更小。在始終用于施加摩擦負(fù)載用途時，停止精度更高。 因此，平臺機(jī)構(gòu)的精度因受皮帶、螺桿導(dǎo)軌/導(dǎo)塊等而產(chǎn)生摩擦轉(zhuǎn)矩所導(dǎo)致的精度影響會更小。
如皮帶、滾珠螺桿機(jī)構(gòu)，在動作時，機(jī)構(gòu)始終會對電動機(jī)施加因皮帶張緊力、導(dǎo)塊或?qū)к壍榷a(chǎn)生的摩擦負(fù)載。
● 空程※1實(shí)測數(shù)據(jù)
優(yōu)化檢測良率，助力檢測效率提升
■綜合性能，（免增益、無微振、高指令跟隨）更強(qiáng)大的穩(wěn)定運(yùn)行◇ 免增益、無微振的高響應(yīng)動作
步進(jìn)電動機(jī)是開環(huán)控制的同步電動機(jī)，有其特有的高響應(yīng)性。對機(jī)構(gòu)的剛性無要求，無需進(jìn)行增益調(diào)整。定位結(jié)束時無微振且可以通過電動機(jī)自身保持力停止。 適用于需要無振動停止的設(shè)備用途。實(shí)現(xiàn)晶圓臺對運(yùn)動指令的高響應(yīng)動作，避免過沖現(xiàn)象，減少晶圓/探針破損、針印等發(fā)生，提高檢測良率。 |
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◇ 微米級別的高指令跟隨
高分辨率型產(chǎn)品在高摩擦負(fù)載的環(huán)境下可切實(shí)追隨每一個脈沖的指令。 可為搭配光柵尺等外部傳感器實(shí)現(xiàn)全閉環(huán)控制系統(tǒng)的高精密平臺，提供精密定位調(diào)整的指令跟隨應(yīng)用。 |
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升級全閉環(huán)控制，構(gòu)建更高精度的系統(tǒng)
CVD系列全新推出全閉環(huán)控制型產(chǎn)品，保持了步進(jìn)電動機(jī)的易用性, 通過與外部傳感器的組合實(shí)現(xiàn)高精度定位運(yùn)行。構(gòu)建需要更高精度控制的設(shè)備及裝置設(shè)計(jì)。● 空程※1實(shí)測數(shù)據(jù)
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【測定條件】 螺桿導(dǎo)程1ｍｍ 直線光柵尺分辨率0.1μm 位置范圍：1cnt ※2 采用激光測長測量
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※1 電動機(jī)從CW或CCW方向?qū)δ繕?biāo)位置進(jìn)行定位，此時的停止位置相對于旋轉(zhuǎn)方向的差。
※2 以編碼器脈沖計(jì)數(shù)1的誤差(-0.2～0.2μm)為目標(biāo)進(jìn)行修正。
全閉環(huán)控制型在開始定位時，利用步進(jìn)電動機(jī)的高響應(yīng)進(jìn)行開環(huán)控制。
從位置指令結(jié)束開始，結(jié)合外部傳感器的反饋，可通過全閉環(huán)控制進(jìn)行位置修正。
在保證高響應(yīng)性的同時，也進(jìn)一步提升了裝置的定位精度。
※2 以編碼器脈沖計(jì)數(shù)1的誤差(-0.2～0.2μm)為目標(biāo)進(jìn)行修正。
全閉環(huán)控制型在開始定位時，利用步進(jìn)電動機(jī)的高響應(yīng)進(jìn)行開環(huán)控制。
從位置指令結(jié)束開始，結(jié)合外部傳感器的反饋，可通過全閉環(huán)控制進(jìn)行位置修正。
在保證高響應(yīng)性的同時，也進(jìn)一步提升了裝置的定位精度。
相關(guān)產(chǎn)品
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?5相步進(jìn)電動機(jī)驅(qū)動器CVD系列全閉環(huán)控制型 CVD系列全新推出全閉環(huán)控制型產(chǎn)品。 保持了步進(jìn)電動機(jī)的易用性, 通過與外部傳感器的組合實(shí)現(xiàn)高精度定位運(yùn)行。 有助于構(gòu)建需要更高精度控制的設(shè)備及裝置設(shè)計(jì)。
高轉(zhuǎn)矩低振動的2相。高精度低振動的5相。 備有豐富的產(chǎn)品陣容。
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?2相·5相步進(jìn)電動機(jī)用DC電源輸入驅(qū)動器 低振動設(shè)計(jì)的驅(qū)動器搭載微步驅(qū)動功能，實(shí)現(xiàn)更低振動。 提供可根據(jù)安裝方式、電纜線出線方向選擇的3種驅(qū)動器 。
高轉(zhuǎn)矩低振動的2相。高精度低振動的5相。 備有豐富的產(chǎn)品陣容。
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
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