化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備應(yīng)用提案
| CMP設(shè)備在轉(zhuǎn)臺(tái)上使用多個(gè)擺臂機(jī)構(gòu)，比如將如拋光墊修整器等移動(dòng)到位的機(jī)構(gòu)。 下面我們將為您介紹CMP機(jī)械臂機(jī)構(gòu)的課題解決方案！ |
機(jī)械臂機(jī)構(gòu)及主要驅(qū)動(dòng)源
為保證在整個(gè)晶圓上均勻分配適量的材料，CMP工藝在材料去除過(guò)程中施加不同的力，并精確停止。
因此，為擺臂機(jī)構(gòu)提供精確定位控制非常重要，合理的選用響應(yīng)快速的驅(qū)動(dòng)源，以避免拋光過(guò)多的基材。
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機(jī)械臂 升降 –— DRS2系列 兼顧高精度、小型化與大可搬運(yùn)質(zhì)量
目的：將擺臂升降移動(dòng)定位，以便進(jìn)行接觸拋光或高度調(diào)節(jié)等操作。
通過(guò)組合高精度的αSTEP AZ系列和滾珠螺桿，在機(jī)械臂升降工位上提供高精度定位的DRS2系列小型電動(dòng)缸方案，與自行組裝的機(jī)構(gòu)相比，裝置全長(zhǎng)縮短、更緊湊。
目的：將擺臂升降移動(dòng)定位，以便進(jìn)行接觸拋光或高度調(diào)節(jié)等操作。
通過(guò)組合高精度的αSTEP AZ系列和滾珠螺桿，在機(jī)械臂升降工位上提供高精度定位的DRS2系列小型電動(dòng)缸方案，與自行組裝的機(jī)構(gòu)相比，裝置全長(zhǎng)縮短、更緊湊。
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 小型電動(dòng)缸 DRS2系列 |
適用于微小移動(dòng)量·高精度定位
| 中空轉(zhuǎn)子和滾珠螺桿螺母一體化的緊小型機(jī)體，可實(shí)現(xiàn)裝置的高精度定位與小型化。 不需要連接部件，減少因聯(lián)軸器等連結(jié)部件而產(chǎn)生的精度影響，實(shí)現(xiàn)更高精度的定位。 ●驅(qū)動(dòng)螺桿分為研磨滾珠螺桿和滾軋滾珠螺桿2種 【最小移動(dòng)量】0.001mm 【反復(fù)定位精度】 研磨滾珠螺桿：±0.003mm 滾軋滾珠螺桿：±0.01mm
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減少連結(jié)部件，實(shí)現(xiàn)省空間化
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將工作物移動(dòng)相同沖程量時(shí)的兩種構(gòu)成范例， 以下為構(gòu)成部件數(shù)的比較。
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應(yīng)用：半導(dǎo)體制程設(shè)備（晶圓Pin針頂升機(jī)構(gòu)） （?點(diǎn)此查看詳細(xì)介紹） 設(shè)備空間小型化要求加劇，面向多層化、多腔體的半導(dǎo)體制程相關(guān)設(shè)計(jì)，DRS2系列小型電動(dòng)缸充分發(fā)揮降低高度方面的小型化應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。  *圖示僅供示意參考，需外置導(dǎo)軌設(shè)計(jì)。
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垂直可搬運(yùn)質(zhì)量
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以下為各規(guī)格可垂直搬運(yùn)的負(fù)載質(zhì)量，實(shí)際選用請(qǐng)結(jié)合機(jī)構(gòu)負(fù)載設(shè)計(jì)及驅(qū)動(dòng)條件綜合選型計(jì)算， 可進(jìn)一步洽詢東方馬達(dá)。（?點(diǎn)此查看各銷售點(diǎn)聯(lián)絡(luò)方式）
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應(yīng)用：半導(dǎo)體制程（晶圓清洗設(shè)備）設(shè)備 （?點(diǎn)此查看詳細(xì)介紹） 機(jī)械臂的升降設(shè)計(jì)采用小型電動(dòng)缸驅(qū)動(dòng)，無(wú)需過(guò)多的配件設(shè)置，搭載機(jī)械式絕對(duì)編碼器應(yīng)用，整體設(shè)計(jì)更簡(jiǎn)潔、緊湊。  |
斷電時(shí)保護(hù)的帶電磁制動(dòng)
電源OFF時(shí)，保持停止位置。帶電磁制動(dòng)規(guī)格的采用，即使垂直安裝，也不必?fù)?dān)心維護(hù)作業(yè)中機(jī)械臂掉落。
注意：
本資料僅供參考。選購(gòu)前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
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