| CMP設(shè)備在轉(zhuǎn)臺(tái)上使用多個(gè)擺臂機(jī)構(gòu)，比如將如拋光墊修整器等移動(dòng)到位的機(jī)構(gòu)。 下面我們將為您介紹CMP機(jī)械臂機(jī)構(gòu)的課題解決方案！ |
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目的：將擺臂水平移動(dòng)定位，以進(jìn)行拋光或調(diào)節(jié)等操作。
中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置DGⅡ系列可直接安裝大慣性工作臺(tái)及機(jī)械臂等，可減少機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)、零件調(diào)配、組裝狀態(tài)調(diào)節(jié)等花費(fèi)的時(shí)間與費(fèi)用。
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以下為各規(guī)格可驅(qū)動(dòng)的大致機(jī)械臂參考長(zhǎng)度及負(fù)載質(zhì)量，實(shí)際選用請(qǐng)結(jié)合機(jī)構(gòu)尺寸及驅(qū)動(dòng)條件進(jìn)行綜合選型計(jì)算，可進(jìn)一步洽詢東方馬達(dá)。
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應(yīng)用：半導(dǎo)體制程（晶圓清洗設(shè)備）設(shè)備（?點(diǎn)此查看詳細(xì)介紹）
旋轉(zhuǎn)平臺(tái)驅(qū)動(dòng)清洗臂擺動(dòng)，中空設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)清洗液輸送配管可由中空部輕松通過，設(shè)計(jì)更緊湊。
可直接將負(fù)載安裝在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，不僅省去傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，方便安裝，更能通過中空設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)由下而上的配線?配管。
大口徑中空孔（貫穿）可用于布線復(fù)雜的配線、氣動(dòng)及液壓配管等場(chǎng)合，使裝置設(shè)計(jì)更為簡(jiǎn)潔。
中空設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)液體輸送配管可由中空部通過，管道布置更緊湊。
齒條移動(dòng)方向（垂直）的應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)高反復(fù)定位精度，確保物料的準(zhǔn)確的頂升。
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●功能安全
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電動(dòng)升降機(jī)械臂的旋轉(zhuǎn)部時(shí)，可使用東方馬達(dá)的DRS2系列及EZS系列。 DRS2系列安裝尺寸60㎜，雖機(jī)身小巧，但最大能發(fā)揮500N的推力， 適用于小型機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的升降軸。
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方便的運(yùn)行·設(shè)定
使用AZ系列的功能，能夠通過中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)執(zhí)行坐標(biāo)管理，可以實(shí)現(xiàn)以下運(yùn)行：
| ?就近絕對(duì)移動(dòng)縮短生產(chǎn)周期 | ?設(shè)定禁止進(jìn)入范圍使控制簡(jiǎn)單 | |
是指朝向設(shè)定的目標(biāo)位置，按移動(dòng)距離最短的旋轉(zhuǎn)方向
執(zhí)行驅(qū)動(dòng)的功能。可縮短裝置的生產(chǎn)周期。  |
裝置上有障礙物等時(shí)，
可在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上設(shè)定禁止進(jìn)入范圍。  |
縮短裝置啟動(dòng)時(shí)間 出廠時(shí)已預(yù)設(shè)運(yùn)行中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置所需參數(shù)，可縮短裝置啟動(dòng)時(shí)間。·原點(diǎn)位置
·分辨率設(shè)定（0.01°/step）
·旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)定
·Round設(shè)定±180°
●各初始設(shè)定值可以更改。
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?中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置 DGII系列 傳動(dòng)裝置內(nèi)部為減速機(jī)構(gòu)，因此可進(jìn)行高輸出功率驅(qū)動(dòng)。
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本資料僅供參考。選購前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
