晶圓Pin針頂升機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)提案
裝置概要
隨著半導(dǎo)體工藝發(fā)展，對設(shè)備的要求也越來越高，對每個(gè)軸的動(dòng)作也愈發(fā)嚴(yán)格。小型化、高效率、高精度、低振動(dòng)……眾多需求在機(jī)構(gòu)上的設(shè)計(jì)應(yīng)用，以下將為您介紹各類提案：
 *圖示僅供參考，需外置導(dǎo)軌設(shè)計(jì)
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實(shí)現(xiàn)的動(dòng)作： 將吸附于平臺上的晶圓片通過Pin針頂起，以便于利用搬運(yùn)機(jī)械手進(jìn)行取、送晶圓片。
※頂起前，晶圓通過“靜電吸附”、“真空吸附”等方式，附著在平臺上。
• 需要頂起多片晶圓，實(shí)現(xiàn)大負(fù)載。
• 頂升機(jī)構(gòu)希望實(shí)現(xiàn)小型化。
• 提升效率，提高產(chǎn)能。
機(jī)構(gòu)痛點(diǎn)·難題
• 靜電吸附型平臺，用氣缸頂升PIN針，可能出現(xiàn)“裂片”。• 需要頂起多片晶圓，實(shí)現(xiàn)大負(fù)載。
• 頂升機(jī)構(gòu)希望實(shí)現(xiàn)小型化。
• 提升效率，提高產(chǎn)能。
點(diǎn)擊相應(yīng)“課題”查看解決方案：
●晶圓裂片/晃動(dòng)、位置偏離
●空間狹小、安裝緊湊、負(fù)載重
●提升設(shè)備效率，提高產(chǎn)能
●傳感器異常、誤動(dòng)作等所引起設(shè)備報(bào)錯(cuò)
課題：傳感器異常、誤動(dòng)作等所引起設(shè)備報(bào)錯(cuò)
普通氣缸、增量式AC伺服電動(dòng)機(jī)等應(yīng)用，需要利用傳感器實(shí)現(xiàn)限位、原點(diǎn)等功能。
且傳感器接線麻煩，存在因傳感器本身或其配線破損、異常等導(dǎo)致設(shè)備故障停機(jī)的風(fēng)險(xiǎn)，影響生產(chǎn)。
解決方案： AZ系列步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)（ABZO編碼器）
●無需電池的絕對定位視頻演示
普通氣缸、增量式AC伺服電動(dòng)機(jī)等應(yīng)用，需要利用傳感器實(shí)現(xiàn)限位、原點(diǎn)等功能。
且傳感器接線麻煩，存在因傳感器本身或其配線破損、異常等導(dǎo)致設(shè)備故障停機(jī)的風(fēng)險(xiǎn)，影響生產(chǎn)。
解決方案： AZ系列步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)（ABZO編碼器）
支持絕對定位及縮短多軸的原點(diǎn)返回時(shí)間
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●搭載機(jī)械式絕對編碼器（ABZO編碼器） 無需傳感器、電池的設(shè)計(jì)，有助于實(shí)現(xiàn)小型化構(gòu)造。 ●位置保持和高速原點(diǎn)返回 定位運(yùn)行中，即使電源非正常停止或發(fā)生停電，也能保持位置信息。而且，即使需要回原點(diǎn)也無需使用外部傳感器，因此可實(shí)現(xiàn)高速原點(diǎn)返回。
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●搭載AZ系列的電動(dòng)傳動(dòng)裝置：
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| 電動(dòng)滑臺 ?EZS系列 ?EAS系列 |
?電動(dòng)缸 EAC系列 |
小型電動(dòng)缸 ?DR系列 ?DRS2系列 |
?中空旋轉(zhuǎn)式 傳動(dòng)裝置 DGII系列 |
齒輪·齒條系統(tǒng) ?L系列 ?LJ直線減速機(jī) |
?電動(dòng)夾爪 EH系列 |
●無需電池的絕對定位視頻演示
無需外部傳感器，減少了相關(guān)問題發(fā)生
AZ系列搭載機(jī)械式絕對編碼器（ABZO編碼器）實(shí)時(shí)管理位置信息，可省去原點(diǎn)返回所需的外部傳感器。
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搭載產(chǎn)品
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基于閉環(huán)控制實(shí)現(xiàn)高可靠性，借助高效率化，大幅降低電動(dòng)機(jī)發(fā)熱， 無需在意驅(qū)動(dòng)占空比，實(shí)現(xiàn)短距離反復(fù)定位。
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
- 晶圓裂片/晃動(dòng)、
位置偏離 - 空間狹小、
安裝緊湊、負(fù)載重 - 提升設(shè)備效率，
提高產(chǎn)能 - 傳感器異常誤動(dòng)作等所引起設(shè)備報(bào)錯(cuò)
