采用全長較短的折返型電動滑臺，實現(xiàn)了裝置的小型化設(shè)計。因此可滿足產(chǎn)線的裝置長、寬、高等空間限制。
與直線型相比，折返型全長最大可縮短136.4mm，有利于節(jié)省裝置的空間。

工作臺部分采用不銹鋼板和滾筒構(gòu)造的簡易防塵構(gòu)造，可阻止異物進入，抑制發(fā)塵。

●低發(fā)塵的滾筒構(gòu)造 工作臺部分搭載低發(fā)塵的滾筒構(gòu)造，與不銹鋼板之間滾動接觸，防止產(chǎn)生粉塵。 不僅抑制發(fā)塵，還能夠提升不銹鋼板的耐久性能。

●無塵室對應 在低發(fā)塵滾筒構(gòu)造的基礎(chǔ)上，使用了低發(fā)塵的清潔潤滑油，從而實現(xiàn)了ISO規(guī)格 3級?（相當于FED規(guī)格1級）的清潔度。

高容許慣性力矩

在保持小型化的同時，實現(xiàn)高容許慣性力矩。

可改變電纜線出線方向

電動機的安裝方向可作4個方向*的改變，可根據(jù)安裝場所自由改變電纜線的出線方向。 * 折返型為3個方向。

ABZO編碼器進行位置信息管理，減少傳感器造成的設(shè)備停機并實現(xiàn)高速原點返回

由于搭載絕對式編碼器（ABZO編碼器），因此，不需要保持位置信息的電池及原點傳感器、外部傳感器。

●不需要外部傳感器
由于是絕對式編碼器，因此，不需要原點傳感器及外部傳感器。

●高速原點返回

?通常的原點返回 在感應限位傳感器及原點傳感器的同時低速檢測原點， 原點返回較為耗時。

?搭載AZ系列的原點返回 無需感應限位傳感器及原點傳感器，可高速移動到 ABZO編碼器存儲的原點位置。

●無需電池
采用機械式編碼器，因此，切斷電源后仍能夠保持位置信息。因為不需要電池，故無需考慮出口海外時的限制等因素。

 

搭載產(chǎn)品

?電動滑臺 EZS系列 小型、高剛性、低發(fā)塵量的電動滑臺。 通過電動滑臺實現(xiàn)步進電動機的高響應、低振動、無微振運行。 產(chǎn)品陣容豐富，包括直線型、折返型、無塵室對應，可根據(jù)裝置空間、環(huán)境選用。

注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。

• CUP裝置升降工位
• 噴淋/清洗裝置
  擺臂工位:旋轉(zhuǎn)軸
• 噴淋/清洗裝置
  擺臂工位:升降軸
• 晶圓上、下料工位
• 控制方式

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