多工位移載加工設(shè)備
裝置概要
以半導(dǎo)體常見的多工位設(shè)備為例,介紹上下料工位、移載工位、加工工位中使用東方馬達(dá)產(chǎn)品的解決方案。通過全部使用搭載步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列的產(chǎn)品,在達(dá)成小型化、高精度的前提下,統(tǒng)一控制方式。
有助于節(jié)省設(shè)計(jì)、裝配的人力和時(shí)間成本。
移載工位
通過采用出廠已安裝無齒隙減速機(jī)的步進(jìn)電動(dòng)機(jī),高精度地驅(qū)動(dòng)大慣性負(fù)載。
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無需外部傳感器即可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)
此軸用作將處理前、后的工件進(jìn)行搬運(yùn)移載。αSTEP AZ系列電動(dòng)機(jī)后部搭載無需電池的機(jī)械式絕對(duì)編碼器(ABZO編碼器)。不會(huì)受到原點(diǎn)返回費(fèi)時(shí)及外部傳感器相關(guān)問題的影響。
旋轉(zhuǎn)軸的應(yīng)用例
αSTEP AZ系列,借助“就近絕對(duì)移動(dòng)”功能,可向指定坐標(biāo)進(jìn)行180°以內(nèi)的移動(dòng),縮短了工件調(diào)整時(shí)間。
高精度·無齒隙
就減速機(jī)而言,諧波減速機(jī)擁有無可比擬的優(yōu)異定位精度特性,與使用一般直齒輪的減速機(jī)不同,沒有齒隙(小齒互相嚙合間隙)。同時(shí),相互嚙合的齒數(shù)較多,小齒的齒距誤差或累積齒距誤差的旋轉(zhuǎn)精度的影響被平均分散掉,可發(fā)揮高定位精度的特性。
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高減速比驅(qū)動(dòng)大慣性負(fù)載
諧波減速機(jī)的減速比較高,因此,在輸出軸施加負(fù)載轉(zhuǎn)矩時(shí)的扭轉(zhuǎn),即使與電動(dòng)機(jī)單體及其它減速電動(dòng)機(jī)相比,不僅精度影響小,且具有高剛性。由于剛性較高,因此,即使負(fù)載變動(dòng)大,也可以非常穩(wěn)定的定位。
一體化·小型化
步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的減速機(jī)型出力軸為齒輪加工,可與減速機(jī)直接連結(jié)傳動(dòng),且出廠前已進(jìn)行高精度組裝,實(shí)現(xiàn)一體化·小型化。搭載產(chǎn)品
?αSTEP AZ系列 |
注意:
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