真空設(shè)備
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真空設(shè)備如何實(shí)現(xiàn)小型化？ |
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設(shè)備
真空室中工件搬送裝置
用途
半導(dǎo)體部件、液晶屏幕等加工
設(shè)備概況
使用伺服電動(dòng)機(jī)，通過皮帶、滑輪和傳動(dòng)裝置來驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿
當(dāng)前設(shè)備問題
由于在真空室內(nèi)無法放置電動(dòng)機(jī)，需要額外加裝傳動(dòng)裝置此類部件，導(dǎo)致設(shè)備體量較大。
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αSTEP AR系列 真空型步進(jìn)電動(dòng)機(jī) | 
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設(shè)置于真空環(huán)境，實(shí)現(xiàn)設(shè)備小型化
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真空型αSTEP AR系列是可以在10-5Pa的真空環(huán)境中使用的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)組合產(chǎn)品。由于電動(dòng)機(jī)可以設(shè)置在真空室中，傳動(dòng)裝置、皮帶、滑輪等部件都可以省去。通過節(jié)省空間實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的小型化。
  真空型電動(dòng)機(jī)的特征與構(gòu)造
●為抑制氣體排放，電動(dòng)機(jī)采用鋁、不銹鋼，表面不做涂裝，且軸承采用了真空用潤(rùn)滑油。
●排放的氣體和與通常潔凈環(huán)境下的氣體成分相同，因此使用時(shí)不必?fù)?dān)心會(huì)對(duì)真空環(huán)境造成污染。 ●為了能承受真空熱處理的溫度，采用耐高溫線圈。 抑制氣體釋放污染真空室的設(shè)計(jì)
為了抑制氣體的產(chǎn)生，電動(dòng)機(jī)表面不做涂裝，軸承部分則使用了真空用潤(rùn)滑油。產(chǎn)生的氣體方面，與通常潔凈環(huán)境下的氣體成分相同，因此使用時(shí)無需擔(dān)心污染真空環(huán)境。
 真空環(huán)境中也可反饋電動(dòng)機(jī)狀態(tài)
由于搭載了真空對(duì)應(yīng)旋轉(zhuǎn)變壓傳感器，電動(dòng)機(jī)即使在真空環(huán)境中，也可以做到對(duì)過負(fù)載、過熱保護(hù)等狀態(tài)的監(jiān)控。
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