擺臂機(jī)構(gòu)
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如何解決夾取晶圓片時， 因電動機(jī)振動而受損的問題？ |
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設(shè)備問題
電動機(jī)驅(qū)動的長桿機(jī)構(gòu)夾取晶圓時，長桿機(jī)構(gòu)會放大電動機(jī)的振動，使脆弱的晶圓片受損。那么如何有效減少振動，防止晶圓片因振動受損呢？ |
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2相步進(jìn)電動機(jī)單體 PKP系列 CS減速機(jī)型 |
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使用減速機(jī)型步進(jìn)電動機(jī)，可有效減輕振動，縮短整定時間，有效減少晶圓因振動而出現(xiàn)破損的現(xiàn)象。
當(dāng)步進(jìn)電動機(jī)的負(fù)載轉(zhuǎn)動慣量較大時，起動、停止時的過沖現(xiàn)象和回沖現(xiàn)象會變大，電動機(jī)的振動也會變大。 如下圖所示，當(dāng)增加轉(zhuǎn)動慣量時，振動周期和振動衰減時間都會相應(yīng)增大。 
——電動機(jī)無負(fù)載狀態(tài)
——轉(zhuǎn)子附加3倍轉(zhuǎn)動慣量的狀態(tài) 而減速機(jī)型步進(jìn)電動機(jī)擁有更大的容許慣性負(fù)載，慣性比更小，因而可減輕過沖、回沖現(xiàn)象，減輕電動機(jī)的振動。 |
而東方馬達(dá)步進(jìn)電動機(jī)PKP系列CS減速機(jī)型（?點(diǎn)此查看PKP系列CS減速機(jī)型規(guī)格詳細(xì)），在不改變減速機(jī)尺寸的基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)了轉(zhuǎn)矩和負(fù)載的提升。與一般減速機(jī)型相比，容許轉(zhuǎn)矩提高一倍。在明顯減輕振動同時，還能夠?qū)?yīng)更大更重的加工工件。
另外由于重新優(yōu)化齒輪的構(gòu)造，實(shí)現(xiàn)中心軸的改良。 減輕了客戶在設(shè)計安裝板需花費(fèi)的功夫，并提升了電纜線出現(xiàn)方向的自由度。
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